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Moritex大靶面远心镜头 助力晶圆外观检测

在半导体制造工艺中,为了形成精细的图案和结构,通常要求更高。高分辨率工业镜头的作用也是为了实现精准成像。通过高品质的光学元件和优秀设计,来实现工业镜头的高分辨率。

为半导体制造设备应用而设计的工业镜头,配合实现高精度贴合和检测,并在最大限度上抑制细微的图案层间的位置偏差,为有应用需求的客户提供精准成像。

镜头的定位和距离,会直接影响半导体设备的细微图案形成和检查精度,而高精度镜头则可实现精准定位和成像,助力产品品质的提升。茉丽特通过精密加工和组装,实现产品的高精度要求。

晶圆外观检测

晶圆外观检测

半导体晶圆的外观检查,为了检测细微的图案和缺陷,对镜头倍率有很高要求。高分辨率工业镜头用来实现精确检测微小的特征和缺陷。

在外观检测中,镜头同轴照明光路均匀地聚集来自光源的光,为被测物表面提供均匀的照明,而均匀照明对于精确的检测结果必不可少。另外,更高对比度的镜头,能清晰地显示被测物的细微细节和特征。

近年来,由于大靶面CMOS传感器的推出,半导体的外观检测可以更高效、大范围地进行,这就要求镜头具有更大像面,以便配合大靶面相机提高检测效率,缩短检测时间。

晶圆外观检测推荐镜头——MML-HR35/43系列

茉丽特大靶面远心镜头MML-HR35/43系列

茉丽特的大靶面远心镜头MML-HR35/43系列,专为大靶面工业相机设计;分辨率高,可支持3.2u像元相机;优异的色差校正性能及内同轴亮度均匀性。

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